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真空清洗的技術工藝

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真空清洗的技術工藝

發布日期:2018-08-30 09:40 來源:http://www.5154092.com 點擊:

真空清洗一般定義為在真空工藝進行前,先從工件或系統材料表面清除所不期望的物質的過程。真空零部件的表面清洗處理是很必要的,因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源會使真空系統不能獲得所要求的真空度。此外,由于污染物的存在,還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。

將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發雜質蒸發來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產生副作用。

這種清洗方法在高真空,超高真空系統的清洗除氣中應用的非常廣泛.尤其是在真空鍍膜設備中用的最多。利用熱絲或電極作為電子源.在其相對于待清洗的表面加負偏壓可以實現離子轟擊的氣體解吸及某些碳氫化合物的去除.清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關系.即取決于單位表面積上的離子數和離子能量.從而取決于有效電功率。


真空清洗

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